Исследование температурной зависимости электропроводности тонких слоёв монокристаллического кремния

CC BY-NC - Creative Commons Attribution NonCommercial 4.0 International

RAI : 20.500.11925/1310539

Год создания: 2016
Дата публикации в реестре: 16.10.2018
Дата последнего обновления: 15.12.2017



Описание:
Данная работа посвящена исследованию электрофизических характеристик, в частности, зависимости удельной электрической проводимости от температуры в тонкослойных полупроводниковых структурах на основе кремния на изоляторе (КНИ). Исследуемые образцы монокристаллического кремния легированы фосфором и имеют толщину порядка 2 микрон. Прямыми измерениями получены вольт – амперные характеристики тонкослойных структур, построены зависимости удельных электрических сопротивлений от них. Получены и проанализированы в соответствии с классической теорией зависимости электрической проводимости тонких слоёв монокристаллического кремния в условиях резистивного нагрева в интервале температур от 800 °С до 1200 °С. Измерения температуры проведены пирометрическим методом. Для данного метода приведена оценка погрешностей. Научные руководители: канд. физ.–мат. наук, с.н.с. Косолобов С. С., м.н.с. Ситников С. В., лаборатория нанодиагностики и нанолитографии, центр коллективного пользования "Наноструктуры", ИФП им. ак. А. В. Ржанова СО РАН.

Язык:
rus

Тематика:
Физика

Тип:
Другие учебные работы

Банк знаний:
Научный корреспондент

Источник:
nauchkor.ru




Я - автор

Вы можете подать заявку на авторство данного произведения, привязать его к своему аккаунту и выбрать правовой режим его использования.



Добавить в избранное Предложить изменения


Отправить претензию

Поделиться c друзьями: